产品简介
INTRODUCTION
产品最大支持尺寸:300*300(厚度不限)
取像扫描视野:6.98*4.65
检测时间:2个视野/s
像素精度:1um缺陷
最小检出:D>2um
量测精度:1um
单片检测TT:200S/(100*100产品)
洁净等级:整机设备百级洁净
检测系统:高倍率面阵成像
检测软件:支持标准检测、查阅、叠片、统计、通讯上抛
适用产品:硅穿孔、玻璃穿孔产品
检测内容:上表面通孔孔径,下表面通孔孔径,通孔中心孔径,通孔圆度,盲孔状况,产品平均厚度及翘曲,崩边,裂纹,表面Particle,通孔区域破损,通孔位置精度,金属层缺陷